전처리 장치를 통과한 원수를 역삼투막을 통해 증류수 정도의 처리수를 생산할 수 있는 설비로 최근 수처리시설에 가장 많이 적영되고 있다. 일반적으로 고농도의 용액쪽으로 저농도의 액체가 확산되어 평형을 이루는 원리가 삼투압 현상인데, 반대로 고압력을 인위적으로 가해 고농도의 용액이 저농도로 이용되도록 역삼투시켜 수중의 이온을 제거하는 원리이다.반투막은 매우 작은 원자와 물, 작은 유기분자, Gas만 통과된다.

EDI는 이온 교환막, 이온교환수지, 직류전원으로 전기재생을 하여 연속적이고 균일하게 순수를 생산하는 막분리 탈이온장치로 기존의 이온교환수지만을 이용한 순수제조장치와는 달리 약품 재생공정을 거치지 않으므로 폐수가 발생되지 않고 연속사용이 가능한 순수제조장치이다. 양이온 교환막과 음이온 교환막을 이용해 선택적으로 이온들을 통과시켜 제거하며, 각 교환막 사이에 양음이온 교환수지를 이온교환속도를 증가시키는 매개체로 사용한다. RO 생산수를 원스로 사용하며, 유입수 내에 CO2가 존재할 시 샌산수질에 영향을 끼질수 있어 전처리로 Membrane Degasifier를 선택적으로 사용한다

초순수를 얻기위해서 주로 EDI 또는 2B3T+MB 후단에 추가로 설치가 되며, 혼상수지를 사용한다. 처리수질에 Sio2 규제가 있을경우 혼상수지탑 전단에 음이온 수지탑을 추가로 구성할수도 있다.RO + EDI + Polisher System은 초기 설치비용은 높으나 작은 부지면적을 가지며, 높은 순도의 생산수를 얻을 수 있는 System으로 최근 가장 선호되는 Process라고 볼 수 있다. ※ 순수 및 초순수 설비 구성은 원수수질 및 제반여건에 따라 구성이 달라질 수 있음.

전처리 장치를 통과한 원수는 양이온탑, 탈탄산탑, 음이온탑, 혼상탑의 순서로 통과되어 고도의 순수를 얻을 수 있는 System이다. 양이온탑에서는 H+계 양이온교환수지를 통해 수중의 양이온을 흡착하고 H+를 방출한다. 재생시 흡착된 양이온은 5~10%의 HCI 또는 5%의 H2SO4를 주입해 다시 H+ 이온으로 환원시킨다.탈탄산탑은 양이온탑에서 발생된 CO2 Gas를 탈기하여 공기중으로 방출하는 역할을 한다. 음이온탑에서는 OH계 음이온교환수지를 통해 수중의 음이온을 흡착하고 OH를 방출한다. 재생시 흡착된 음이온은 5~10%의 NaOH를 주입해 다시 OH-계 음이온교환수지로 환원시킨다.혼상탑에서는 탑 내부에 H+계 양이온교환수지와 OH-계의 음이온교환수지를 혼합하여 2B3T보다 높은 고순도의 수질을 얻을 수 있다. 재생 방식은 탑 내부에 HCl과 NaOH를 이용해서 H+, OH-계의 이온으로 환원시킨다.2B3T+MB SYSTEM은 주로 대용량의 순수 생산에 많이 사용이 되며, 재생을 통하여 연속적으로 순수를 생산할 수 있다. ※ 순수 및 초순수 설비 구성은 원수수질 및 제반여건에 따라 구성이 달라질 수 있음.